检索大厅
积分0
注册

知道具体文献?这里可以直接精准定位

输入 DOI、PMID、完整标题或作者线索,系统会优先匹配明确目标。若您的核心诉求是“请帮我找到这一篇”,推荐直接发布求助,系统同样会先尝试自动碰单。

发布精准求助
DOI / PMID识别最准确,建议直接粘贴完整标识符。
完整标题适合没有 DOI 的文献,尽量保留原始标题。
标题 + 作者题目较短或重名时,补充第一作者可减少误匹配。

一句话检索 — 开发中

用自然语言描述需求,AI 自动解析并精准检索。
该功能正在抓紧开发,敬请期待!

作者来源

快捷:
自定义:

10.1117/12.3009745的检索结果 (精准检索)

题目 作者 年份 DOI 执行操作
Advanced cross-layer overlay simulation with exposure grid re-calculation
Metrology, Inspection, and Process Control XXXVIII
💎 15
Yueh-Feng Lu, Chao Jen Tsou, Onur N. Demirer, Holger Bald, Siegfried Hille, Meng-Syun Li, Martin Freitag, Clemens Utzny, Scott Eitapence, Boris Habets, Cheng-Shuai Li, Kao-Tsai Tsai 2024 10.1117/12.3009745 付费解锁 (15)
上一页 1 页检索域 下一页
前往