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10.23919/vlsit.2017.7998177的检索结果 (精准检索)

题目 作者 年份 DOI 执行操作
Highly-selective superconformai CVD Ti silicide process enabling area-enhanced contacts for next-generation CMOS architectures
2017 Symposium on VLSI Technology
💎 10
N. Breil, A. Carr, T. Kuratomi, C. Lavoie, I.-C. Chen, M. Stolfi, K. D. Chiu, W. Wang, H. Van Meer, S. Sharma, R. Hung, A. Gelatos, J. Jordan-Sweet, E. Levrau, N. Loubet, R. Chao, J. Ye, A. Ozcan, C. Surisetty, M. Chudzik 2017 10.23919/vlsit.2017.7998177 付费解锁 (10)
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