平台已收录预计检索 <10 秒
Triple/quadruple patterning layout decomposition via linear programming and iterative rounding
查看已审核书目、规范引用与获取指引。下载与积分规则登录后查看。
文献信息
- 题目
- Triple/quadruple patterning layout decomposition via linear programming and iterative rounding
- 作者
- Yibo Lin, Xiaoqing Xu, Bei Yu, Ross Baldick, David Z. Pan
- 发表年份
- 2017
- 期刊 / 来源
- Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
- 出版社
- SPIE
- 文献类型
- 学术文献
- 平台记录更新
- 2026-08-29 09:17:30
本页由 Scihuhuan.com 学术互换提供文献检索、引用与获取指引；论文版权和出版身份归原出版方。
Scihuhuan