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Pushing multiple patterning in sub-10nm: are we ready?
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文献信息
- 题目
- Pushing multiple patterning in sub-10nm: are we ready?
- 作者
- David Z. Pan, Lars Liebmann, Bei Yu, Xiaoqing Xu, Yibo Lin
- 发表年份
- 2015
- 期刊 / 来源
- Proceedings of the 52nd Annual Design Automation Conference
- 出版社
- ACM
- 文献类型
- 学术文献
- 平台记录更新
- 2026-08-29 09:18:30
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