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Microstructural evolution and in-situ Sn cleaning of Ru-capped Mo/Si multilayers under EUV-relevant H/D isotope plasma irradiation
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文献信息
- 题目
- Microstructural evolution and in-situ Sn cleaning of Ru-capped Mo/Si multilayers under EUV-relevant H/D isotope plasma irradiation
- 作者
- Sishu Wang, Yuyu Wang, Zongbiao Ye, Runze Qi, Tao Gao, Jianjun Wei, Fujun Gou
- 发表年份
- 2026
- 期刊 / 来源
- Materials Characterization
- 出版社
- Elsevier
- 文献类型
- 学术文献
- 平台记录更新
- 2026-09-17 22:58:06
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