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Ferroelectric HfO 2 /ZrO 2 Superlattice Capacitors With High Center to Edge Wafer-Scale Uniformity
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文献信息
- 题目
- Ferroelectric HfO 2 /ZrO 2 Superlattice Capacitors With High Center to Edge Wafer-Scale Uniformity
- 作者
- Oscar Kaatranen, Patrik Eskelinen, Sampo Inkinen, Olli‐Pekka Kilpi, Karl‐Magnus Persson
- 发表年份
- 2026
- 期刊 / 来源
- Advanced Electronic Materials
- 出版社
- Wiley
- 文献类型
- 学术文献
- 平台记录更新
- 2026-10-08 15:27:09
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